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本帖最后由 不二如是 于 2023-9-15 11:18 编辑
清华大学 SSMB-EUV 光源方案，功率达到 EUV 光刻机 40 倍。
先看视频：
简单科普一下，SSMB-EUV光源路线是以工厂化的模式，将原本用于科研的大科学装置来产生极紫外光源，从而绕开了ASML超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器的技术路线。
形象一点的比喻就是将ASML EUV光刻机里面小型的光源部件光源变成类似工业园中的大型基础设施，凭借1千瓦级的超大功率（为ASML的40倍）供几台甚至几十台EUV同时使用。
EUV-自由电子激光原型设计
关于同步辐射光源和自由电子激光如何混合成为SSMB-EUV光源可以参考下图：
阿斯麦的成功是将一个足球场那么大的光刻机缩小到一个集装箱大小，然后商用销售。
而我国并不是为了销售光刻机，没有必要将它缩小，可以还原成一个足球场那么大。
那自然就解决了大部分技术难题了，也不需要用他们那些技术专利了，也就是现在已经解决了EVU光刻机的问题了。
事实证明，无论编程还是
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狗仔卡
发表于 2023-9-15 11:09:20
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发表于 2023-9-15 13:35:07
发表于 2023-9-15 18:00:50
